在本示例中模擬了衰減相移掩模。 該掩模將線/空間圖案成像到光刻膠中。 掩模的單元格如下圖所示掩模的基板被具有兩個(gè)開(kāi)口的吸收材料所覆蓋。在其中一個(gè)開(kāi)口的下方位于相移區(qū)域。由于這個(gè)例子是所謂的一維掩模(線/空間模式)在xy平面中有一個(gè)2D仿真域。在源文件中設(shè)置3DTo2D yes標(biāo)簽以執(zhí)行用戶自定義傳入方向的自動(dòng)轉(zhuǎn)換。啟用此標(biāo)記后就可以描述傳入?yún)^(qū)域就好像光軸與Z軸重合一樣。這允許統(tǒng)一設(shè)置2D和3D的掩模模擬項(xiàng)目。由于光線從基板下方進(jìn)入光線的傳輸方向?yàn)閆方向。相位分布如下圖所示相移區(qū)域的影響清晰可見(jiàn)導(dǎo)致開(kāi)口上方光束的180度相位差。同時(shí)光場(chǎng)的S和P分量也顯示出相位差